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电液伺服阀分为单级、二级和三级。单级电液伺服阀直接由力马达或力矩马达驱动滑阀阀芯，用于压力低于6.3MPa、流量小于4L／min和负载变化小的系统；二级电液伺服阀有两级液压放大器，用于流量小于200L／mm的系统；三级电液伺服阀可输出更大的流量和功率。
选用伺服阀要依据伺服阀的特点和系统性能要求。伺服阀最大的弱点是抗污染能力差，过滤器的颗粒粒度必须小于3μm。伺服阀侧重应用在动态精度和控制精度高、抗干扰能力强的闭环系统中，对动态精度要求一般的系统可用比例阀。
从响应速度优先的原则考虑，伺服阀的前置级优先选择喷嘴挡板阀，其次是射流管阀，最后是滑阀。
从功率考虑，射流管阀压力效率和容积效率在70％以上，应首先选择，然后是选择滑阀和喷嘴挡板阀。
从抗污染和可靠性方面考虑，射流管阀的通径大，抗污染能力强，可延长系统无故障工作时间。
从性能稳定方面考虑，射流管阀的磨蚀是对称的，不会引起零漂，性能稳定，寿命长。
滑阀的开口形式一般选择零开口结构。
伺服阀规格由系统的功率和流量决定，并留有15％～30％的流量裕度。
伺服阀的频宽按照伺服系统频宽的5倍选择，以减少对系统响应特性的影响，但不要过宽，否则系统抗干扰能力减小。
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